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半导体废气处理设备

废气介绍：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，光解废气处理设备规格，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和***废气。

废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

废气处理设备处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统。

一般来说，粒径小于10微米的粉尘（即可吸入颗粒物）对人类健康影响较大，袋式除尘器对可吸入颗粒物具有很高的分离效率。袋式除尘器在处理常温烟气（lt;120℃）污染中应用范围逐步扩大，随着耐高温滤料及脉冲清灰等技术的进一步发展，袋式除尘器凭借优异的除尘性能，在处理高温、高浓度烟气治理领域中得到越来越广泛的应用。随着工业化和城市化进程的加快，我国大气污染日益严重，大气污染物排放标准日趋严格，高除尘效率的静电除尘器、袋式除尘器得到了广泛应用。当前，静电除尘和袋式除尘是我国主流的除尘技术。袋式除尘器较静电除尘器在节能减排方面具有更大的优势，在***排放标准越来越严格的形势下，使用袋式除尘器将成为控制粉尘污染的主要选择。光解废气处理设备

废气处理设备的种类有：

1、吸收设备　　吸收法采用低挥发或不挥发性溶剂对VOCs进行吸收，再利用VOCs和吸收剂物理性质的差异进行分离。

2、吸附设备　　在用多孔性固体物质处理流体混合物时，光解废气处理设备怎么卖，流体中的某一组分或某些组分可被吸表面并浓集其上，此现象称为吸附。

3、有机废气的燃烧及催化净化设备 燃烧法用于处理高浓度Voc与有恶臭的化合物很有效，光解废气处理设备，其原理是用过量的空气使这些杂质燃烧，大多数生成二氧化碳和水蒸气，可以排放到大气中。

4、工业有机废气的低温等离子体的治理设备　　等离子体就是处于电离状态的气体。