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半导体废气处理设备

废气介绍：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和***废气。

废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。

废气处理设备处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统。

废气处理设备该技术通过特殊的激发光源产生不同能量的光量子，利用恶臭物质对该光量子的强烈吸收，在大量携能光量子的轰击下使恶臭物质分子解离和激发。

废气处理设备利用光量子分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。

由收集系统将恶臭气体进入光量子净化装置，在此利用特殊激发光源产生的光量子诱发一系列反映后，大同工业废气处理设备，将恶臭物质分解转化为CO2、H2O等无害成分，小型工业废气处理设备价格，该装置已是一种功能较强的绿色环保型空气净化装置。无二次污染，反应后废气排出主要有氮气、氧气、水、二氧化碳等无害气体。

高能光量子废气处理设备的特点：

1、结构简单，占地面积小，也可直接建于污染源的上方，不另外占用地方。

2、反应速度快，停留时间极短（仅为几秒），处理效果好，控制反应条件恶臭物质可完全被分解掉。

3、启动、停止十分快捷，即开即用，不受气温影响，没有生物法复杂的生物驯化和培养过程，工业废气处理设备哪家好，操作极为简单，无需派专职人员看守。

离心风机的进气方式有单侧进气（单吸）和双侧进气（双吸）两种。单吸通风机又分单侧单级叶轮和单侧双级叶轮两种。在同样情况下，双级叶轮产生的风压是单级叶轮的两倍。双吸单级通风机是双侧进气、单级叶轮结构。在同样情况下，这种风机产生的流量是单吸的两倍。在特殊情况下，工业废气处理离心风机的进风口装有进气室，按叶轮'左'或'右'的回转方向，各有五中不同的进口角度位置。工业废气处理设备

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